High Purity Filters in Semiconductor

“Les filtres de précision de Shinkai avec une pureté supérieure à 3 nm (0,003 μm) sont spécialement conçus pour les services critiques dans les semi-conducteurs ou l’instrumentation analytique. Tous les modèles de régulateurs sont à action directe, sans décharge et sont fournis avec une cartouche filtrante en acier inoxydable fritté à l’entrée. Nous proposons plusieurs modèles distincts avec une variété de processus de connections, de plages de ressorts et de matériaux de membrane pour satisfaire les applications d’instruments les plus exigeantes

Le gaz passe uniformément à travers l’élément métallique poreux avec un frottement minimal, avec une durée de vie plus longue et jusqu’à 55 000 psi maximum, près de 380 mPa.”

Caractéristique

Rétention de la taille des particules
Taille moyenne des pores
Propriétés mécaniques”

Spécification

Foyer de filtre/Corps : 316L SS
Milieu filtrant: 316L SS”

Application

Gaz d’échappement et gaz résiduaires
Gaz à haute température générés dans un système d’injection directe de liquide
Gaz à faible pression de vapeur provenant d’un mélange volatile de vapeur chimique liquide précurseurs.”