半導体用高純度フィルター

商品説明

“シンカイの精密フィルターは3nm（0.003μm）までの高純度フィルターで半導体や分析機器などの重要な用途に特化して設計されています。すべてのレギュレーターモデルは直動式でリリーフがなく吸入口に焼結ステンレス鋼フィルターカートリッジが付属しています。私たちは最も要求の厳しい機器のアプリケーションを満たすために様々なプロセス接続、スプリングレンジ、ダイアフラム材質の様々なモデルを提供しています。

ガスが多孔質金属エレメントを均一に通過するため摩擦が少なく、寿命が長く、Max55000psiでおよそ380mPaまで使用可能です。”

特徴
粒子径保持率
平均細孔径
機械的特性”

仕様
フィルターハウス/ボディ: 316L SS
フィルター媒体: 316L SS”

用途
排気ガスと排ガス
液体直接噴射装置で発生する高温ガス
化学前駆体気体液体源揮発性前駆体の混合物からの低蒸気圧ガス”

半導体用高純度フィルター

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