フローリストリクター

焼結金属製流量制限器は高純度の半導体プロセスガスが無秩序に流れるのを防ぎ、高精度の流量を提供するために使用される流量制限装置です。圧縮ガス供給システムまたはガス分配マニホールドに設置し、高度に制御されたガス流量を提供します。これらのリストリクタは信頼性が高く、低コストで迅速にリターンを提供する流量制御部品です。