Фильтры высокой чистоты в полупроводниках

“Прецизионные фильтры Shinkai с более высокой чистотой до 3 нм (0,003 мкм) разработаны специально для критического обслуживания в полупроводниковом или аналитическом приборе. Все модели регуляторов имеют прямое действие, не освобождаются и поставляются со спеченным фильтрующим картриджем из нержавеющей стали на входе. Мы предлагаем несколько различных моделей с различными технологическими соединениями, диапазонами пружин и материалами диафрагм для удовлетворения самых требовательных требований к приборам.

Газ равномерно проходит через пористый металлический элемент с минимальным трением, с более длительным сроком службы и до Max 55000psi, почти 380mPa.”

“Особенность
Удержание частиц по размеру
Средний размер пор
Механические свойства”
“Спецификация
Корпус/корпус фильтра: 316L SS
Фильтрующая среда: 316L SS”
“Приложение
Отработавшие газы и отработавшие газы
Высокотемпературные газы, образующиеся в системе прямого впрыска жидкости
Газы с низким давлением паров из смеси летучих прекурсоров, образующих пары химических веществ-предшественников”