Поликремний — «фундамент» для чипов
Производство поликремния является критически важным и незаменимым звеном в верхней части цепочки создания стоимости полупроводниковой отрасли. Без высокочистого поликремния невозможно изготовить высокопроизводительные чипы. Требуемая чистота электронного поликремния достигает 99.999999999% (11N). Любые, даже мельчайшие примеси, подобно трещинам в фундаменте здания, могут привести к катастрофическому отказу. Высокоточные фильтрующие элементы выступают в роли «ключевых защитников» производства, постоянно обеспечивая сверхвысокую чистоту исходных материалов.
Производственные проблемы
В ключевых процессах производства поликремния (например, по модифицированному методу Сименса) существуют следующие сложности:
-
Загрязнение частицами: В ходе химических реакций образуются абразивные микрочастицы. Без фильтрации они могут попадать в следующие стадии процесса или узлы рециркуляции, засоряя трубопроводы и оборудование. Эти загрязнители также могут смешиваться с продуктом, напрямую нарушая правильную структуру атомов кремния, создавая дефекты кристаллической решетки, что ведет к резкому падению выхода годных чипов и потере их функциональности.
-
Условия реакции: Сложная среда — высокие температуры, высокое давление и наличие коррозионных газов (таких как хлор, хлороводород) — усугубляет коррозию и износ оборудования.
-
Выбросы: При дроблении, просеивании, транспортировке и упаковке сырья и готового поликремния образуется кремниевая пыль. Без эффективного улавливания эта пыль рассеивается в воздухе, создавая неорганизованные выбросы, которые наносят серьезный вред окружающей среде, оборудованию и здоровью персонала.
Таким образом, как для обеспечения высокого выхода годной продукции, так и для безопасности производства и здоровья людей, необходима абсолютно надежная фильтрация технологических и отходящих газов до и после реакций.
Почему выбирают спеченные металлические фильтроэлементы Shinkai?
В суровых условиях производства поликремния спеченные металлические фильтроэлементы Xiongkai обладают неоспоримыми преимуществами перед другими фильтрующими материалами:
-
Максимальная точность, стабильность и надежность: Благодаря точному контролю размера частиц порошка и процесса спекания достигается однородное и стабильное распределение пор, обеспечивающее эффективное улавливание субмикронных частиц и надежную защиту чистоты продукта.
-
Стойкость к высоким температурам, выдающиеся характеристики: Максимальная рабочая температура до 900°C значительно превышает технологические потребности. При этой температуре элементы не плавятся, не стареют, не выделяют летучих веществ, сохраняя стабильность характеристик.
-
Сочетание прочности и гибкости, высокая механическая стойкость: Обладают высокой механической прочностью и вязкостью, выдерживают значительные колебания и перепады давления без риска разрушения. Срок службы намного превышает срок службы керамических фильтроэлементов.
-
Коррозионная стойкость, передовые материалы: Изготовлены из высококачественных материалов, таких как 316L, хастеллой, инконель, которые отлично противостоят воздействию высокоагрессивных/восстановительных сред: хлороводорода (HCl), водорода (h3), трихлорсилана (TCS), тетрахлорида кремния (STC).
-
Стабильная структура, исключение загрязнения: Монолитная спеченная структура исключает отслоение волокон, что принципиально предотвращает вторичное загрязнение, делая их идеальным выбором для обеспечения чистоты электронного уровня.
Система газоочистки Shinkai: Комплексное решение, выходящее за рамки фильтроэлементов
Xiongkai предлагает не только фильтроэлементы, но и комплексные системные решения. Наша система высокотемпературной импульсной продувки для очистки газа от твердых частиц обладает следующими особенностями:
-
Автоматическая регенерация: Система автоматической импульсной продувки, защищенная патентами, позволяет восстанавливать эффективность фильтроэлементов онлайн, обеспечивая непрерывность производства и снижая трудозатраты и стоимость обслуживания.
-
Долгий срок службы и экономичность: Длительный ресурс фильтроэлементов в сочетании с эффективной системой регенерации значительно снижает общие эксплуатационные расходы.
-
Безопасность и стабильность: Полностью герметичная конструкция системы и полностью автоматизированный процесс минимизируют необходимость ручного вмешательства, обеспечивая безопасные условия труда.
-
Простота и эффективность: Рациональная конструкция установки, простота монтажа и удобство эксплуатации.
Высокотемпературные фильтры со спеченными металлическими фильтроэлементами производства Нанкинской компании Xiongkai, благодаря своей исключительной надежности в условиях высоких температур и коррозионных сред, чрезвычайно низкому уносу металла и высокой тонкости очистки, эффективно обеспечивают безопасность, экологичность, стабильность и высокую эффективность процесса производства кремниевого сырья. Мы успешно помогли многим ведущим предприятиям наладить стабильное массовое производство высокочистого электронного поликремния, внося свой вклад в обеспечение независимости и управляемости китайской полупроводниковой цепочки поставок, начиная с исходных материалов.
www.shinkaifilter.com
Email:info@shinkaifilter.com